大尺寸玻璃的製造到底使用什麼樣的運動控制平台呀?

B0  2017年 10月03日 17:07


圖檔

昨天剛好遇到一位日本精密運動控制的老前輩,天南地北聊天,什麼織田信長,豐臣秀吉,本能寺の変、関ヶ原合戦.....反正搞不清楚打來打去什麼啦。言歸正傳,我找了老前輩的論文出來K了一下,發現有一些可以跟大家討論的運動控制資料,在這裡簡單的PO一下與大家分享。
左上角的圖,乃是使用在FPD產業裡面的線性馬達精密平台搭配線性滑軌(転がりガイド)它的一個最主要的特徵為: 採用花崗岩當作主要的平台座,優點不言可喻: 穩固,高精度,不易變形,不過隨著玻璃面板越來越大的需求,大量的石材取得成本所費不貲,而且取得不易,所以近年的趨勢是右上角圖中所示的架構,圖中文字說明是說"Gantry移動型Stage FPD檢查用",最大的特徵在於使用日文叫"製缶構造"的架構,其實就是鐵材質的結構,不像石頭那樣子不容易取得,成本也容易控制,而精度也完全符合某些玻璃製程中的需求。特別是第五代以上的玻璃大小的檢查機或修補機,非常常見。該圖中也可以看到為了符合高加減速的運動需求,焊接結構分為兩層(二重フレーム型製缶構造),而上側橫樑採用一組鐵心式線性馬達,Gantry的兩側各採用鐵心式線性馬達以降低Yaw方向的運動誤差。位置回饋則採用如0.1μm之回授系統。

上面提到的都是採用線性滑軌這樣子的導引元件的定位平台,不過圖裡面最下方也顯示了國內的高精密空氣軸承線性馬達定位平台,與前者比較,空氣軸承平台的速度平穩度高了大約10倍以上,除了應用在半導體產業中,也有趨勢往更大行程之玻璃生產機台應用擴展。

最後為了提供參考給有興趣學習日文的工程人員,附上底下的說明,希望有幫助:
転がりガイド=ころがりガイド 如果直接口語翻譯是: 滾動運動的導引元件,其實就是線性滑軌。
製缶構造=せいかんこうぞう 直接翻譯就是製造罐頭的結構,不過在工程裡面其實有衍生的意思,就是使用標準鐵材採取如焊接的手法組成的鋼架構件。而標準鐵材舉例而言如I型鋼,ㄇ型鋼,或者方管這些工業上常用的鋼鐵基本材料。
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B1  2021年 03月26日 0:46


推專業講解,大型龍門檢測機的應用可以多多介紹~

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