1.關節式機器手臂:所有手臂中,自由度最大(人手的自由度為6.5)。
2.並聯式機器手臂:所有手臂中,速度最快。
3.史卡拉機器手臂:所有手臂中,最經濟實惠的手臂。
4.晶圓機器人:所有手臂中,所佔空間最小。
認識特性後,再考量載重、工作範圍、自由度、速度…等,
例如:設備內,將晶圓從A搬運至B…,晶圓重量100g
選擇考量:一般看到晶圓,直觀上就會直接選晶圓機器人,
但其實深入探究是成本、穩定度,由於大多應用在無塵室,
而無塵室的場地成本高,所以設備必需壓縮至最小空間,
而晶圓機器人是所有手臂中所佔空間最小,而穩定度就要看各廠牌的技術,
一般會看兩項:重複精度、搬運過程的振動量~
此僅為初步選擇手臂的考量,此案例為晶圓機器人,其它下節分享~
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