上一篇介紹了除震台的基本功能,就是阻斷由樓層地板傳入機台核心處理部的各式振動,藉此提高核心的定位與處理精度。而隨著技術進步,這樣子的除震功能,在越來越精密的定位運動需求也有不適用的情形發生。因此除震台在原先的除震功能之外,新增了制振的功能,制振的主要目的乃是將機台本身運作所需的運動所造成的平台晃動予以主動控制並降低。
如附圖左半所示為基本功能的除震性能,阻絕地板往上傳的振動,而圖右半就是更先進的主動式制振功能,圖示的黃色線段顯示的就是機台來回移動之加減速所造成平台的晃動因素。
通常這樣子的主動介入控制,乃藉由外力提供平台不晃動的阻尼力量,早期採用氣壓主動控制,第二張圖中黑色標示"空圧制御"的就是這個性能的表現,同圖中紅色曲線則為導入線性馬達當作阻尼力量的來源,提供更高動態響應的力量控制整個平台因機器運作造成的晃動,同圖可以看到紅色曲線顯示了比空壓方式主動制振更好的效果,平台晃動更小。
藉由這樣更高性能的主動制振,可以有效改善精密定位過程的到位整定的性能。
所以原先如果只有使用具有除震而已的除震台而在機台到位時需要比較久的整定時間,就可以改成具有制振加除震功能的除震台,來有效改善機台的到位時間,提升產能。