精密運動控制的量測設備 - Autocollimator 準直儀

B0  2020年 02月27日 17:25


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今天來談談一個精密的量測儀器, 在精密的定位平台的組裝驗證與品質確保過程裡面有一個很重要的規格就是真直度或平面度。今天介紹的這個就是用來量測這個規格的工具。

它的使用方式就好像是在使用望遠鏡一樣,對著鏡頭用眼睛看十字標,從附圖最上面可以看到,右邊那個管子狀的就是Autocollimator的本體,固定不動,而圖中左邊有反射鏡,反射鏡來回移動於直線上不同的位置就可以從類似望遠鏡的鏡頭中確認到不同位置偏離直線的情形。當十字標偏離中心就表示反射鏡所在的位置有pitch或yaw方向的角度偏移也就是不直。而且十字標偏離的狀況也有角度刻度(範圍30')可以確認。


這個儀器的原理可以參考附圖下半邊的圖A, B, C嘗試理解。圖A表示不偏不倚時的光路,出去的光點最後會回到原來的焦點,表示十字標無偏離,然後圖B則可以看到左邊的反射鏡(紅色)有偏一個角度,此時看到光路偏移,紅色的箭頭與原來藍色的箭頭發生偏差表示十字標發生偏離。如果反射鏡偏θ角則位於焦點處偏離的距離為2θf (f為焦距)。


圖C則以更接近Autocollimator的配置表達原理。



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