旋轉平台的精度量測分為定位精度與動作精度討論, 參考圖示分別說明如下:
●定位精度
從基準位置以一定的間隔依序定位運動涵蓋全行程, 對各個停留點求實測值與目標值的差, 最大的差稱為定位精度。
●重現精度
對平台上任意目標位置實施複數次的定位, 求停止的位置偏移的最大值,其中最大值即為重現精度。
●Lost-motion
對平台上任意目標位置由兩個方向定位到目標位置,並實施複數次,求實際停止位置的偏移幅度的平均值,其中最大值即Lost-motion。
●背隙
對平台上任意位置以正方向與負方向施以一定荷重,此時兩方向的偏移量的和稱為背隙。
●面振量(軸向偏擺)
旋轉平台轉一圈時,旋轉台對於安裝底面的高度變化的最大值稱之。
●同心度
旋轉平台轉一圈時,理想的旋轉中心與實際的旋轉中心的差稱為同心度。